マスフローコントローラのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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マスフローコントローラ(制御 設計) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

更新日： 集計期間:2026年09月16日～2026年10月13日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

マスフローコントローラの製品一覧

1～22 件を表示 ／ 全 22 件

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【新製品】AMFシリーズ（小型マスフローコントローラ/メータ）

【新製品】AMFシリーズ（小型マスフローコントローラ/メータ）

環境・バイオ・材料プロセスの液体流体管理を、非接液監視と高精度コリオリ、さらにソフトウェア活用で支援

コンパクト設計と高精度制御を両立。装置の小型化・高性能化に貢献 AMFシリーズは、限られた設置スペースでも高精度な流量制御を実現する小型マスフローコントローラ／メータです。 優れた応答性と安定した流量制御により、研究開発から製造装置まで幅広いアプリケーションに対応。装置の省スペース化や設計自由度の向上に貢献します。 ■ 導入メリット コンパクト設計による装置設計の自由度向上 高精度・高応答な流量制御 装置の小型化・軽量化 安定したプロセス制御による品質向上 ■ 主な用途 分析・計測機器 研究開発設備 OEM装置 バイオ・ライフサイエンス分野 一般産業用ガス供給システム Brooks Instrumentは、精密流体計測・制御分野で70年以上にわたり培った技術と豊富な実績をもとに、お客様の用途やプロセスに最適なソリューションを提供しています。小型化・高性能化が求められる装置開発においても、高品質な製品と充実した技術サポートでお客様を支援します。 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計
  • その他計測・記録・測定器
  • マスフローコントローラ

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【選定ガイド】EtherNet/IP対応流量機器

【選定ガイド】EtherNet/IP対応流量機器

流量機器を、設備の「情報」へ。 配線・立ち上げ・監視・保守をもっとシンプルに。

設備のデジタル化が進むなか、流量機器にも「流量値を伝える」だけでなく、機器状態や診断情報を設備ネットワーク上で活用することが求められています。 Brooks InstrumentのEtherNet/IP対応流量機器なら、PLC／DCSなどの制御システムとネットワーク接続し、流量値に加えて、設定値・積算流量・温度・バルブ駆動・アラーム・診断情報などを取得可能。個別のアナログ配線を減らし、装置設計から立ち上げ、運用・保守までの効率化を支援します。 ■ このような課題をお持ちの方へ - 流量機器ごとのアナログ配線の削減 - PLC／DCSとの接続・装置設計の簡素化 - 流量値以外の機器情報の取得 - 装置立ち上げ・設定作業の効率化 - 機器状態の可視化とトラブル切り分け - 設備保守・メンテナンス業務の効率化

  • 流量計
  • 流量制御
  • 計装制御システム
  • マスフローコントローラ

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GCシリーズ 選定・仕様相談ガイド｜研究開発・小型装置向け

GCシリーズ 選定・仕様相談ガイド｜研究開発・小型装置向け

研究開発・小型装置の ガス流量制御を、もっとコンパクトに

研究開発・小型装置向けマスフローコントローラ 小型化と高精度制御を両立。研究開発から環境・エネルギー分野まで幅広く対応。 GCシリーズは、MEMSセンサを採用した超小型マスフローコントローラです。限られた設置スペースでも高精度・高速応答・優れた再現性を実現し、分析装置や研究開発設備、小型OEM装置などの設計自由度を高めます。 ■ このような課題をお持ちの方へ ・装置の小型化・軽量化 ・限られたスペースへの高性能流量制御機器の組み込み ・評価試験・実験における流量制御の高精度化・再現性向上 ・複数ガスの安定した流量制御 ・既存MFCの小型・低消費電力モデルへの置き換え ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計
  • その他検査機器・装置
  • マスフローコントローラ

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マスフローコントローラー『1000シリーズ』

マスフローコントローラー『1000シリーズ』

スタート時のオーバーシュートを抑制！低価格の高性能ガス流量制御器

『1000シリーズ』は、マスフローコントローラーの基本機能に特化した アナログ低価格モデルの高性能ガス流量制御器です。 各種分析・成膜・理化学などの実験研究・製造用途など幅広い分野で ご使用頂けます。 また、流量設定と表示のみのシンプル設計で操作が簡単な表示設定器付 専用電源「PA01」もご用意しております。 【特長】 ■低価格 ■コンパクトサイズ ■スタート時のオーバーシュートを抑制 ■バルブ型式：ノーマルオープン ■流量制御範囲：5～100％F.S. ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他プロセス制御
  • マスフローコントローラ

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エフコン株式会社 会社案内

エフコン株式会社 会社案内

生産装置への搭載、研究・開発など幅広い分野に対応！流量制御はお任せください！

エフコン株式会社は、マスフローコントローラをはじめとする 流量制御機器の製造メーカーです。 マスフローコントローラとは、ガスや液体の質量流量を計測し流量制御を 行う機器であり、高精度な流量計測・制御を求められるプロセスには 欠かせないものですが、高価な製品であるため、限られた分野でしか 使用されておりませんでした。 当社のマスフローコントローラは、基本性能を追求した独自技術により 低価格を実現した製品です。一般産業での使用、各種生産装置への搭載、 研究・開発など幅広い分野でご使用いただけます。 【事業内容】 ■流量制御機器の設計・製造・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • 計量制御
  • マスフローコントローラ

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GFシリーズ製品比較／選定ガイド

GFシリーズ製品比較／選定ガイド

環境・エネルギープロセスに最適なガス流量制御を実現

CO₂利用技術や排ガス処理、燃料評価などの環境・エネルギー分野では、用途に応じた高精度なガス流量制御が求められます。 GFシリーズは、多ガス・多レンジ評価から高純度ガス、高温プロセスまで幅広い用途に対応。プロセス条件に応じて最適なモデルを選択でき、研究開発から生産工程まで安定した流量制御を実現します。 [GF40] MultiFlo対応／多ガス・多レンジ評価向け □ 研究開発・評価試験に最適 □ 1台で複数ガス・複数レンジに対応 □ 開発期間の短縮と設備効率向上に貢献 [GF100] MultiFlo対応／高純度・多条件プロセス向け □ 高純度ガスプロセスに対応 □ 幅広いプロセス条件で高精度制御 □ 半導体・研究開発用途にも最適 [GF120xHT] 高温・耐腐食プロセス向け □ 高温ガス供給に対応 □ 耐腐食性に優れた設計 □ 過酷なプロセス環境でも安定した流量制御を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧ください。お問い合わせもお待ちしております。

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  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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【選定ガイド】CCUS・メタネーション・合成燃料

【選定ガイド】CCUS・メタネーション・合成燃料

CO₂・H₂を反応条件どおりに供給。研究から実証・生産設備までの流量制御を解説

CCUS・メタネーション・合成燃料の研究開発では、CO₂やH₂などの原料ガスを、設定した反応条件に合わせて安定供給することが重要です。さらに研究から実証・生産設備へ進むにつれて、必要な流量レンジや圧力・温度、流体、設置環境も変化します。 原料ガス供給、混合・希釈、触媒反応、温度・圧力条件試験、パイロット設備、液体原料供給など、各工程における流量制御のポイントを整理。用途・条件に応じたマスフローコントローラ／メータの選定方法と、AMF・SLA5800・SLAMf・QMCの使い分けをご紹介します。研究・評価設備の新規設計や、実証・生産設備へのスケールアップ時の製品選定にぜひご活用ください。 ■ このような課題をお持ちの方へ - CO₂・H₂の混合比率の安定化 - 触媒評価・反応試験の再現性向上 - 複数ガスを使用する評価設備の流量制御 - 高圧・高温など厳しい条件への対応 - 液体原料・反応液の高精度制御 - 研究から実証設備へのスケールアップ

  • 流量計
  • 流量制御
  • その他環境機器
  • マスフローコントローラ

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ブルックスインスツルメント「ガス流量制御」ラインアップ

ブルックスインスツルメント「ガス流量制御」ラインアップ

脱脱炭素・環境技術の開発を支える、高精度ガス流量制御ソリューション

CO₂削減技術や排ガス処理、代替燃料の研究開発など、環境・エネルギー分野では用途に応じた高精度なガス流量制御が求められます。ブルックスインスツルメントは、研究開発から実証試験、生産プロセスまで、各ステージに最適なマスフローコントローラ／メータをご用意。アプリケーションやプロセス条件に応じて最適な製品をご提案します。 ■ このような用途・課題に CO₂削減・CCUS技術の研究開発 排ガス処理・環境負荷低減 触媒評価・反応プロセス開発 代替燃料・合成燃料の研究開発 燃料電池・水素関連プロセス 炉・熱処理・材料プロセスのガス流量制御 ※詳しくは関連カタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量制御
  • その他 流量計
  • マスフローコントローラ

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汎用型マスフローコントローラ『1179C』

汎用型マスフローコントローラ『1179C』

標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能！

『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の マスフローコントローラです。 10sccm～20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで 高速で再現性の高い流量制御が可能です。 また適合する圧カトランスデューサを接続することで圧力制御装置 としても使用可能。ほとんどの一般的なMFCと直接置換え可能です。 電気コネクタは業界標準品と同じピン配置、信号および機能を備えた Dサブコネクタで、ケーブルやコネクタの変更も不要です。 MKSおよび他社のMFC電源、表示器と互換性があります。 【特長】 ■要求の厳しいプロセスに対応 ■特許1取得済みのセンサ設計により、優れたゼロ安定性 ■フルスケールレンジ10sccm～20simで正確で再現性の高い流量測定、制御 ■アナログはフルスケールのパーセント精度 ■高速ウォームアップでダウンタイム低減 ■他のMKS製MFC、電源リードアウトと互換性あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • コントローラ
  • マスフローコントローラ

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mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）

mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）

センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ

「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • 流量計
  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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液体用マスフローコントローラ　LC-3000L series

液体用マスフローコントローラ　LC-3000L series

当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します

ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラです。 0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。 【特長】 ○リンテック独自の周囲温度補償方式の流量センサによる長期流量安定 ○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構造のコンパクト設計 ○汎用デジタルインターフェイスを装備（RS-485準拠） ○ピエゾアクチュエータ採用による高速応答 ○ダイアフラムバルブ構造を採用 　 （デッドスペース極小、気泡が発生しにくい構造） ○バイパスレス構造 　 （液体導入、内部パージが容易、取付姿勢自由） ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

  • 配管材
  • 真空機器
  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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脱炭素・環境対応技術の開発を支える超小型MFC「GCシリーズ」

脱炭素・環境対応技術の開発を支える超小型MFC「GCシリーズ」

小流量域での高い再現性と省スペース化を両立。CO₂削減、排ガス処理、代替燃料評価など研究開発を支える超小型マスフローコントローラ

化学・素材・エネルギー分野の研究開発では、CO₂削減、排ガス処理、代替燃料評価など、環境対応技術の開発が進んでいます。GCシリーズは、こうした用途で求められる小流量域での高い再現性と、省スペースで安定したガス制御を両立する、MEMS式の超小型マスフローコントローラです。 Air、N₂、O₂、CO₂、Ar、CO、CH₄、C₃H₈、N₂O等に対応し、フルスケール流量210～5000sccm（Air換算）、100:1の制御レンジ、±0.25% S.P.の再現性、応答時間は2秒以下（設定値がフルスケールの10%超の場合）を備えています。ラボ装置、小型試験装置、分析設備などに適しており、環境技術の開発を支えるガス制御技術として活用できます。

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mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）

mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）

センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ　※ナノ学会出展

「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 ★ナノ学会第16回大会に出展します！ 日時：2018年5月10日（木）～12日（土） 会場：東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル 武田ホール 5F ぜひこの機会にお越しください。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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マスフローコントローラ『Type GM51A』

マスフローコントローラ『Type GM51A』

ユーザーインタフェース内蔵によりレンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削減！

『Type GM51A』は、幅広い用途に適した1.125"（28.6mm）幅メタルシール、 N2換算フルスケール5sccm～50slmのマスフローコントローラです。 実績のある特許取得熱センサとデザインに、デジタルフロー制御 エレクトロニクスを組み合わせました。 MKS制御アルゴリズムを使ったデジタル制御エレクトロニクスにより、流量 セットポイントに対し標準応答時間500msecと高速で再現性の高い応答をします。 多彩なガス種にN2換算フルスケール5sccm～50slmのマルチレンジで使用可能。 100種以上のガスおよび混合ガスのパラメータが既にメモリ登録されています。 電解研磨仕上げメタルシールにより、高純度プロセス用途に適しています。 【特長】 ■特許取得済みのサーマルセンサ設計による優れたゼロ安定性 ■セットポイント1%(校正ガス)の高精度で正確なプロセスコントロール ■ユーザーインタフェース内蔵 ■レンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削減 ■in-situで機器監視、データ収集可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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MODEL EX-250S SERIES

MODEL EX-250S SERIES

RS485通信機能あり！コンパクト設計のデジタルマスフローコントローラ/メータ

『MODEL EX-250S SERIES』は、ロータリースイッチによるガス種の切替が できる小型デジタルマスフローコントローラ/メータです。 RS485通信機能を有し、アナログ入出力0-5VDC/4-20mAや電源±15VDC/24VDCを 選択可能。全流量制御範囲は応答1sec以内となっております。 ご用命の際は、当社までお気軽にご相談ください。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 5SCCM～10SLM ■精度：±1％F.S. ■コンパクト設計 ■ロータリースイッチによるガス種切替可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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LOW-ΔP-FLOW低圧損・腐食性ガス用マスフローコントローラ

LOW-ΔP-FLOW低圧損・腐食性ガス用マスフローコントローラ

詰まりにくく、低圧損のマスフローメータ・コントローラです。腐食性ガスにも適合します。専用設計のセンサと層流素子を搭載しています。

LOW-ΔP-FLOWシリーズは、低圧損アプリケーション用にブロンコスト・ハイテックが開発したマスフローメータ/コントローラです。低圧損構造のセンサと層流素子を採用しており、低差圧での運転に最適です。 最小レンジ：0.2...10 mln/min 最大レンジ：20...1000 m3n/h 特徴 ・極低圧損 ・詰まりにくくパージし易い構造 ・工業仕様のハウジング(IP65)提供可能 低圧損マスフローコントローラLOW-ΔP-FLOWはコンパクト設計で、フローメータ、調節弁をワンボディーに収納された構成になっています。これらコンパクトモデルの最大流量キャパシティーは、運転条件にもよりますが、1...50 ln/min（空気ベース）になります。低差圧で大流量制御の場合は、圧力補償型ベローズバルブと低圧損タイプ流量計（コントローラ内蔵）との組合せで提供します。 さらに、機器はコンパクトな通信用PCBを追加することにより各種フィールドバスプロトコルに対応致します；DeviceNetTM, Profibus-DP(R), EtherCAT, Modbus又はFLOW-BUSプロトコル

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マスフローコントローラ/メータ　SLAMfシリーズ※国内防爆認証

マスフローコントローラ/メータ　SLAMfシリーズ※国内防爆認証

国内防爆認証(JPEx)を正式取得！厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール！

粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、 実証済みの「SLA5800ファミリ」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 防塵防爆エンクロージャー仕様のSLAMFシリーズは、国内防爆認証(JPEx) 安全増防爆（MFC型式検定合格番号: DEK24.0048X、MFM型式検定合格番号: DEK24.0049X）を正式に取得したことで、Zone2エリアへの導入・使用が可能となりました。　 【特長】 ■NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 ■幅広い定格流量 - 0.003から20800 slpm ■幅広い温度と圧力条件に対応 ■優れた精度を実現 ■設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。　

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【半導体成膜向け】GP200シリーズ

【半導体成膜向け】GP200シリーズ

圧力ベースMFCで成膜プロセスの安定化と歩留まり向上を実現

半導体製造における成膜プロセスでは、ガス流量のわずかな変動が膜厚や膜質に大きな影響を与えます。特にCVD・PVD・ALD工程では、高精度かつ再現性の高い流量制御が、デバイス性能と歩留まりを左右する重要な要素です。GP200シリーズは、差圧センサーと最適化されたコントロールバルブ設計により、高精度な流量計測と優れた再現性を実現。安定したプロセス制御を支援し、高品質な薄膜形成に貢献します。 【活用シーン】 ・CVD（化学気相成長）プロセス ・PVD（物理気相成長）プロセス ・ALD（原子層堆積）プロセス 【導入メリット】 ・膜厚均一性の向上 ・組成制御精度の向上 ・プロセス安定化による歩留まり改善 ・ガス供給の再現性向上

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【製薬向け】精密マスフローコントローラ「SLAMfシリーズ」

【製薬向け】精密マスフローコントローラ「SLAMfシリーズ」

精密マスフローコントローラ。混合プロセスの精度を高め、医薬品品質の安定化に貢献。

医薬品製造において、混合プロセスのわずかな流量変動が製品の有効性や安全性に影響を及ぼします。そのため、ガス流量の高精度かつ安定した制御が不可欠です。 SLAMfシリーズ マスフローコントローラは、高精度制御と優れた長期安定性により、配合バランスの最適化を実現。製造から研究開発まで、幅広い工程において品質の一貫性向上を支援します。 【活用シーン】 ・ 医薬品製造におけるガス混合・供給制御 ・ 研究開発における精密ガス混合 ・ 品質管理工程での流量測定・モニタリング 【導入メリット】 ・ 混合精度の向上による製品品質の安定化 ・ 再現性の高いプロセス制御の実現 ・ 製造効率の向上とロス低減

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【研究機関向け】MFC / MFM「SLA5800シリーズ」

【研究機関向け】MFC / MFM「SLA5800シリーズ」

ガスの精密制御で、研究開発を加速。KHK認証取得で手続きもスムーズ。

研究機関における各種実験では、ガスの流量および圧力を正確に制御・測定できるかどうかが、実験結果の信頼性と再現性を大きく左右します。特に、カーボンニュートラル関連研究をはじめ、水素、メタン、LNG、二酸化炭素、アンモニアなどのガスを扱う実験においては、わずかな制御誤差が結果のばらつきや評価の不確実性につながる可能性があります。 不正確なガス制御は、実験条件の再現性を損ない、検証作業の増加や研究スケジュールの遅延を招く要因となります。 SLA5800シリーズは、こうした研究現場の課題に対応するため、高精度かつ安定したガス流量制御・測定性能を提供。実験条件の再現性向上とデータの信頼性確保を通じて、研究開発を強力にサポートします。 また、幅広いガス種に対応可能な設計により、基礎研究から応用研究、評価試験まで、多様な研究テーマに柔軟に対応できるマスフローコントローラとして活躍します。 【活用シーン】 ・ガス分析 ・反応実験 ・材料合成 ・燃料電池の研究 【導入の効果】 ・実験データの信頼性向上 ・研究効率の向上 ・高圧ガス関連の手続き簡素化

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【エネルギー業界向け】Quantim QMC

【エネルギー業界向け】Quantim QMC

微少流量を高精度に制御し、ガス混合プロセスの安定化と品質向上に貢献

Quantim QMC コリオリ式マスフローコントローラは、微少流量の気体・液体を高精度かつ安定して測定・制御。真の質量流量測定により、ガス混合プロセスの最適化と安定運用に貢献します。 【課題解決】 ・微少流量領域での高精度なガス混合制御 ・ガス混合比率のばらつき低減 ・パイロットプラントから量産へのスムーズなスケールアップ ・エネルギー効率改善に向けた流量最適化 ・再現性の高い流量測定・制御環境の構築 ************************* 2026NEW環境展（東京ビッグサイト）に出展いたします！ ************************* 会期：2026年5月20日（水）～5月22日（金） 時間：10:00～17:00（最終日は16:00まで） 会場：東京ビッグサイト 東展示棟 ブース：R811（東8ホール） ※日本測器株式会社様ブース内にて出展 皆様のご来場を心よりお待ちしております。 *************************

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【金属熱処理向け】MFC / MFM「SLA5800シリーズ」

【金属熱処理向け】MFC / MFM「SLA5800シリーズ」

高圧ガス保安協会（KHK）認証取得。熱処理工程のガス制御に。

金属熱処理業界では、製品品質を左右する熱処理工程において、ガスの流量を正確かつ安定的に制御することが不可欠です。特に、熱処理炉内の雰囲気ガスは、製品の硬度や強度に直接影響を及ぼすため、適切な流量管理が不良品の発生抑制につながります。 SLA5800シリーズは、熱処理工程で使用される多様なガスに対応し、雰囲気制御に求められる高い再現性と安定性を実現します。また、専用のBESTソフトウェアの機能により、スムーズな設備導入をサポートします。 また、エラストマーシール構造を採用することで、コストと耐久性のバランスに優れた設計を実現。長期運用における保守負荷の低減にも貢献し、熱処理設備の安定稼働を支えます。 【活用シーン】 ・熱処理炉へのガス供給 ・雰囲気ガスの流量制御 ・高精度な温度管理 【導入の効果】 ・熱処理工程の品質向上 ・不良品率の低減 ・高圧ガス関連の手続きの簡素化

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